서 론
 
반도체 디바이스의 수요가 부족하며, 세계 각지에서 반도체 제조에 대한 거액의 투자가 이루어지고 있다. 이 흐름은 한동안 계속될 것이다.
 
SEMI는 2022년 7월 세계 반도체 제조 장치 시장 예측에 관해 발표했다. 2022년 반도체 제조 장치 시장은 과거 최고 1,175억 달러(전년 대비 +14.7%)에 이르렀으며, 2023년에는 1,208억 달러 규모로 늘어날 것으로 예측되었다. 반도체 제조 장치의 시장을 견인하고 있는 것은 초 최첨단 로직 디바이스와 고용량 메모리 등이다.
 
한국의 삼성전자는 지난 2022년 6월에 3nm 공정으로 반도체 양산을 시작했다고 발표했다. 한편, TSMC는 3nm 세대에서도 FinFET를 이어 나갈 것임을 알고 있으며, 최근 2nm 프로세스에서는 GAAFET와 이면 전력 공급이라는 두 가지 새로운 최첨단 기술을 도입할 것을 분명히 했다.
 
3D NAND형 플래시 메모리는 128~176층에서 양산이 진행되고 있지만, Micron Technology는 7월에 신세대 3D NAND형 플래시 메모리로 232층 NAND 플래시 양산을 시작했다고 발표했다.
 
이번 수요 증가는 레거시로 불리는 구세대 반도체나 파워 반도체에까지 이르는 점이 기존 반도체 붐과는 크게 다르다. 파워 반도체는 전기자동차나 재생 가능 에너지 등 도입과 보급을 받아 수요가 급증하고 있다. 차세대 파워 반도체로 여겨지는 SiC/GaN/산화갈륨 파워 반도체는 큰 성장이 예상된다.

2022년 시장규모는 1,249억 엔으로 2021년 대비 58.7% 증가했다. 2030년에는 1조 469억 엔으로 예측되며, 2021년 대비 13배 이상의 규모이다. Brooks Instrument는 반도체 제조 프로세스의 요구에 부응하기 위해 프로세스 제어와 모니터의 리딩 컴퍼니로서 보다 일관성 있는 솔루션을 시장에 제공할 것을 목표로 한다.
 
또한 과거 몇 번에 걸쳐 Brooks Instrument의 유량계 GF100 시리즈, GP200 시리즈, SLA 5800 시리즈, Quantim 시리즈에 관해 소개한 적이 있으며, 본고에서는 신제품인 MEMS 피라니 진공계 Versa Torr 시리즈에 관해 소개한다.
 
여기에서는 MEMS 피라니 진공계 VersaTorr 시리즈와 함께 Capacitance Manometer CMX 시리즈와 Brooks Instrument의 반도체 프로세스 장치에서의 진공 모니터에 대한 대처를 소개한다.....................................

⇒ 본고는 월간지 ‘計測技術’(일본, 일본공업출판주식회사 발행)
2022년 12월호(특집)를 번역·전재한 것입니다. 본 기사의 무단전재 및 복사는 저작권 법상 금지되어 있습니다. 원문이 필요하시면 당사로 연락바랍니다