1. 서 론

이번 회에도 매스 플로우 컨트롤러(이하 MFC)의 약점을 소개한다. MFC는 가스와 닿는 부분을 ‘SUS 316L’ 등 뛰어난 내부식성을 가진 재질로 구성할 수 있다는 장점과 유량 센서와 유량 제어 밸브 그리고 제어계를 하나의 패키지로 구성하여 원격 자동 유량 제어를 할 수 있게 그 장점을 인정받았으며, 반도체 제조 장비를 비롯한 각종 제조에서 장치의 기체 액체 유량 제어 용도로 사용된다.

편리함을 추구한 패키지 때문에 약점도 존재한다. 세상에는 모든 게 가능한, 고장이 없는 기계는 존재하지 않는다. MFC도 마찬가지다. MFC는 매우 편리한 기기이기 때문에 약점에 대한 인식이 낮다고 할 수 있다. MFC의 약점을 정확히 파악 후 잘 운용하는 것, 즉 잘 사용하는 것이 최종적인 유체 제어 시스템에서의 비용 절감으로 이어진다.

2. 유체 온도와 주변 온도
불일치로 인한 유량 오차

약점은 MFC가 받는 온도 영향에 기인한다. 이전에 ‘매스 플로우의 유량 감지 방식이 열식이라면 당연히 온도 영향받는다’라고 이야기한 적이 있다. 일반적으로 ‘온도 및 압력의 영향을 받지 않는다’라는 것이 질......................................

⇒ 본고는 월간지 ‘計測技術’(일본, 일본공업출판주식회사 발행)2025년 8월호(연재)를 번역·전재한 것입니다. 본 기사의
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