1. 서 론

이번 회에는 매스 플로우 컨트롤러(이하 MFC)의 약점에 대해 다시 한번 다루고자 한다.

MFC는 가스와 닿는 부분을 SUS316L 등 뛰어난 내부식성을 가진 재질로 구성할 수 있다는 장점과 유량 센서와 유량 제어 밸브 그리고 제어계를 하나의 패키지로 구성하여 원격 자동 유량 제어를 할 수 있으며, 반도체 제조 장비를 비롯한 각종 제조용으로 사용된다. 하지만 약점도 존재한다. 세상에는 모든 게 가능한 기계나 고장나지 않는 부품은 존재하지 않는다. MFC가 매우 편리한 기기이기 때문에 약점에 대해서는 인식하지 못하거나 잊혀지는 경향이 있지 않을까 생각한다. 필자는 MFC를 사용함에 있어 그 약점을 정확히 파악한 후 잘 운용하는 것, 즉 잘 사용하는 것이 최종적인 비용 절감으로 이어진다고 생각한다.

2. 물성을 알 수 없는
유체에 대한 대응

이 약점은 코리올리식 유량 센서를 탑재한 MFC를 제외한 모든 열식, 압력식 MFC에 해당된다. 왜냐하면, 코리올리식(그림 2) 이외의 방식은 유량식에 유체의 물성을 포함하고 있기 때문이다.

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⇒ 본고는 월간지 ‘計測技術’(일본, 일본공업출판주식회사 발행)2025년 6월호(연재)를 번역·전재한 것입니다. 본 기사의
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