1. 서 론
 
지난 회에 이어 이번 회에는 매스플로우 컨트롤러
(이하 MFC) 기술의 역사에 관해 설명한다. MFC가 사용된 지 반세기가 넘었다(사진 1 오른쪽 MFC). MFC의 진면목을 알고 있는 세대는 필자에게 많은 것을 가르쳐 주었고, 그분들이 일선에서 물러나 있는 현상황을 감안하면 필자는 나름대로 MEC를 다음 세대에 전달해야 한다고 생각해 왔다.
이번 회에는 구체적인 기업명이나 제품명도 등장하는데, 지식에 오류가 있다면 알려주시길 바란다. 교과서도 없는 MFC의 세계이다. 필자의 기억과 직접 수집한 자료에만 의존하는 부분이 많다는 점 짚어두고 싶다.

2. MFC의 유량 제어
지난 회에는 MFC의 핵심인 유량 센서의 기술 동향을 살펴봤다. 유량 측정은 MFC가 유량을 제어하기 위한 첫 번째 단계이며, 여기서 넘어가면 정확한 유량 제어를 할 수 없다. 그리고 이번 회에는 MFC의 유량계의 또 다른 핵심인 유량 제어 밸브를 이용한 자동 제어에 관해 설명한다.

MFC가 사용되기 전 유량 제어는 플로트식 유량계와 니들 밸브를 조합한 유량계가 주류를 이루었다(그림 1). 인간이 검출기인 유량계의 플로트 위치(유량값)를 눈으로 읽고, 두뇌로 목표치인 유량과 비교 판단하여 니들 밸브의 개도를 수동으로 조정하여 제어를 달성한다. 인간이 눈으로 보고 판단하고 조작하여 조정계 역할로 개입하는 과정이며, 수동 제어라 불리는 훌륭한 제어의 형태를 보여준다.
 
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⇒ 본고는 월간지 ‘計測技術’(일본, 일본공업출판주식회사 발행)
2024년 5월호(연재)를 번역·전재한 것입니다. 본 기사의 무단
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