서 론
 
이번 회에는 필자가 지난 몇 년간 경험한 매스 플로우 컨트롤러(이하 MFC : 사진 1)의 고장과 원인, 문제 해결 방법에 관해 설명하고자 한다.

MFC의 성능이 향상되고, 품질 개선 덕분에 필자가 영업 담당이었을 때보다 MFC의 초기 트러블이 많이 줄었다. 권선형 센서의 제조 공정에서 품질 관리가 철저히 이루어진 점과 디지털화를 통한 자동 교정 라인을 구축하여 사람이 직접 조정할 때 발생할 수 있는 실수를 없앤 것이 큰 이유다.

필자는 1년에 몇 번씩 MFC 론칭 현장에 불려갈 때가 있다. 사용자 측의 배선 실수 등 사소한 문제이고, 도착 후 몇 분 만에 해결되어 웃으며 끝내기도 하지만 MFC를 PC와 연결해 데이터를 확인해도 도무지 납득할 수 없는 오류에 직면할 때가 있다. 트러블의 주요 원인은 이물질의 혼입이다. 특히 가스용 MFC에 액체가 혼입되어 유량 센서의 출력 이상, 유량 제어 밸브의 제어 불량이다. MFC 본체의 문제가 아니라 외부의 이물질에 의한 문제이기 때문에 필자가 어떻게 할 수 없다. 그렇다고 눈앞에서 어려움을 겪고 있는 사용자를 외면할 수도 없기 때문에 여러 가지 조언을 받아가며 문제 해결을 하고 있다. 그런 경험을 이번 연재에서 소개하고 싶다.

....................................⇒ 본고는 월간지 ‘計測技術’(일본, 일본공업출판주식회사 발행)
2024년 1월호(연재)를 번역·전재한 것입니다. 본 기사의 무단 전재 및 복사는 저작권 법상 금지되어 있습니다. 원문이 필요하시면 당사로 연락 바랍니다